| 1. Identificação | ||||||||||||||||
| Tipo de Referência | Tese ou Dissertação (Thesis) | |||||||||||||||
| Site | mtc-m21c.sid.inpe.br | |||||||||||||||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||||||||||||||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/44E8KPL | |||||||||||||||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2021/04.01.13.06 | |||||||||||||||
| Última Atualização | 2021:08.20.15.29.31 (UTC) simone | |||||||||||||||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2021/04.01.13.06.18 | |||||||||||||||
| Última Atualização dos Metadados | 2022:04.03.23.15.42 (UTC) administrator | |||||||||||||||
| Chave Secundária | INPE-18442-TDI/3092 | |||||||||||||||
| Chave de Citação | Silva:2021:EsImIô | |||||||||||||||
| Título | Estudo da implantação iônica por imersão em plasma e dos fenômenos de sobreposição da bainha de plasma, sputtering e deposição presentes em tratamentos realizados no interior de tubos metálicos  | |||||||||||||||
| Título Alternativo | Studies of plasma immersion ion implantation and phenomena plasma sheath overlapping, sputtering and deposition present in the treatments performed inside metallic tubes | |||||||||||||||
| Curso | CMS-ETES-DIPGR-INPE-MCTI-GOV-BR | |||||||||||||||
| Ano | 2021 | |||||||||||||||
| Data | 2021-04-27 | |||||||||||||||
| Data de Acesso | 20 maio 2024 | |||||||||||||||
| Tipo da Tese | Tese (Doutorado em Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores) | |||||||||||||||
| Tipo Secundário | TDI | |||||||||||||||
| Número de Páginas | 173 | |||||||||||||||
| Número de Arquivos | 1 | |||||||||||||||
| Tamanho | 9986 KiB | |||||||||||||||
| 2. Contextualização | ||||||||||||||||
| Autor | Silva, Carla da | |||||||||||||||
| Banca | Ueda, Mario (presidente/orientador) Mello, Carina Barros (orientadora) Corat, Evaldo José Berni, Luiz Ângelo Souza, Gelson Biscaia de Silva, Maria Margareth da | |||||||||||||||
| Endereço de e-Mail | carla.silva@inpe.br | |||||||||||||||
| Universidade | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||||||||||||||
| Cidade | São José dos Campos | |||||||||||||||
| Histórico (UTC) | 2021-04-01 13:11:02 :: carla.silva@inpe.br -> pubtc@inpe.br :: 2021-04-07 20:21:35 :: pubtc@inpe.br -> carla.silva@inpe.br :: 2021-05-25 20:12:25 :: carla.silva@inpe.br -> pubtc@inpe.br :: 2021-05-26 19:14:05 :: pubtc@inpe.br -> administrator :: 2021-08-20 15:08:59 :: administrator -> pubtc@inpe.br :: 2021-08-20 15:27:22 :: pubtc@inpe.br -> administrator :: 2021-08-20 15:27:51 :: administrator -> pubtc@inpe.br :: 2021-12-03 17:15:13 :: pubtc@inpe.br -> simone :: 2021-12-03 17:15:34 :: simone :: -> 2021 2021-12-03 17:15:35 :: simone -> administrator :: 2021 2022-04-03 23:15:42 :: administrator -> :: 2021 | |||||||||||||||
| 3. Conteúdo e estrutura | ||||||||||||||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | |||||||||||||||
| Estágio do Conteúdo | concluido | |||||||||||||||
| Transferível | 1 | |||||||||||||||
| Palavras-Chave | implantação iônica por imersão em plasma sputtering deposição sobreposição das bainhas de plasma plasma immersion ion implantation deposition plasma sheath overlapping | |||||||||||||||
| Resumo | As bainhas de alta tensão são formadas quando o plasma é produzido pela aplicação de pulsos de alta tensão negativa a suportes ou componentes condutores, como nos tratamentos de superfícies metálicas por implantação de íons por imersão em plasma (3IP). Para peças com formato tubular, essas bainhas se comportam de forma bastante diferente, de acordo com a configuração e o tamanho do tubo, bem como a pressão de operação e os parâmetros de pulsos do tratamento. Neste trabalho, diferentes valores de corrente foram utilizados para produzir plasma com bainhas que se sobrepunham ou não. Para estudar esse comportamento da bainha, uma técnica simples de diagnóstico foi utilizada, baseada no mapeamento bidimensional da deposição de materiais removidos pelo plasma e ejetados do tubo de 1,1 cm Ø em uma lâmina de Si. Este mapeamento mostrou claramente a condição de fronteira entre as bainhas sobrepostas e não sobrepostas no tubo de pequeno diâmetro, e permitiu estimar a densidade do plasma em cerca de 1011 cm-3 nessa condição. Acima dessa condição de fronteira, o tratamento de Implantação Iônica por Imersão em Plasma de Nitrogênio (3IP-N) foi obtido com sucesso em um tubo de pequeno diâmetro de aço inoxidável AISI 304, produzindo TiN e Ti2N em amostras de Ti-6Al-4V colocadas dentro do tubo, quando temperaturas superiores a 800℃ foram atingidas. Sob este tipo de configuração experimental, agora é possível explorar diferentes propriedades do catodo oco, condições para 3IP eficientes e novas utilizações do plasma ejetado do tubo. Um tubo em formato de espiral foi testado e amostras foram posicionadas dentro e fora dele. Embora tenha havido uma alta concentração de nitrogênio para as amostras expostas ao plasma central do tubo espiral, uma menor concentração foi observada em amostras posicionadas na lateral e na extremidade da espiral. A deposição de material proveniente do fio foi bastante reduzida, uma vez que a área total do tubo foi também reduzida, em comparação com um tubo contínuo de dimensões semelhantes. As análises das amostras de Ti-6Al-4V mostraram que a dureza superficial aumentou pela formação de fases TiN e Ti2N, especialmente nas amostras expostas ao plasma central do tubo espiral. O tratamento 3IP-N foi ainda mais satisfatório quando as extremidades do tubo espiral foram fechadas, devido à penetração mais eficiente do campo elétrico pulsado através das espiras, em contraste com o resultado obtido anteriormente no tubo contínuo com ambas as extremidades fechadas. ABSTRACT: High voltage sheaths are formed when plasmas are produced by application of high negative voltage pulses to conductive supports or components, as in treatments of metallic surfaces by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). For tubular shape parts, these sheaths behave quite differently, according to the configuration and size of the tube, as well as the operating pressure and pulse parameters of the treatment. In this work, different currents values were used to produce plasma with sheaths that overlapped or not. To study these sheath behaviors, a simple plasma diagnostic technique was used, based on two-dimensional mapping of the deposition of materials removed by the plasma and ejected from the 1.1 cm diameter tube on a Si wafer target. This mapping clearly showed the boundary condition between the overlapping and nonoverlapping sheaths in that small tube and allowed to estimate the plasma density at about 1011 cm-3 in this condition. Above this boundary condition, the Nitrogen Plasma Immersion Ion Implantation (N-PIII) treatment was successfully obtained in a small diameter tube of Stainless Steel 304, producing TiN and Ti2N in samples of Ti-6Al-4V placed inside the tube, when temperatures above 800℃ have been reached. Under this type of experimental configuration, it is now possible to explore different hollow cathode properties, efficient PIII conditions and new utilizations of the plasma ejected from the tube. A spiral-shaped tube was tested, and samples were placed inside and outside it. Although there was a high concentration of nitrogen for the samples exposed to the core plasma of spiral tube, a lower concentration was observed in samples placed at the side and at the end of the spiral tube. The deposition of material from the wire was greatly reduced, since the total area of the tube was also reduced, compared to a continuous tube of similar dimensions. The analysis of the Ti-6Al-4V samples showed that the surface hardness increased by the formation of TiN and Ti2N phases, especially in the samples exposed to the core plasma of the spiral tube. The PIII-N treatment was even more satisfactory when the ends of the spiral tube were closed, due to the more efficient penetration of the pulsed electric field through the turns, in contrast to the result obtained previously in the continuous tube with both ends closed. | |||||||||||||||
| Área | FISMAT | |||||||||||||||
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Estudo da implantação... | |||||||||||||||
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGCE > Estudo da implantação... | |||||||||||||||
| Arranjo 3 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGIP > Estudo da implantação... | |||||||||||||||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | |||||||||||||||
| Conteúdo da Pasta source |
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| Conteúdo da Pasta agreement |
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| 4. Condições de acesso e uso | ||||||||||||||||
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/44E8KPL | |||||||||||||||
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34R/44E8KPL | |||||||||||||||
| Idioma | pt | |||||||||||||||
| Arquivo Alvo | publicacao.pdf | |||||||||||||||
| Grupo de Usuários | carla.silva@inpe.br pubtc@inpe.br simone | |||||||||||||||
| Visibilidade | shown | |||||||||||||||
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.10 | |||||||||||||||
| Permissão de Leitura | allow from all | |||||||||||||||
| Permissão de Atualização | não transferida | |||||||||||||||
| 5. Fontes relacionadas | ||||||||||||||||
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 | |||||||||||||||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3F358GL 8JMKD3MGPCW/46KTFK8 8JMKD3MGPCW/46KUES5 | |||||||||||||||
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/10.14.21.39 1 | |||||||||||||||
| Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 | |||||||||||||||
| 6. Notas | ||||||||||||||||
| Campos Vazios | academicdepartment affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination doi electronicmailaddress format group isbn issn label lineage mark nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype | |||||||||||||||